一种具有毫微纳三级结构复眼透镜的制造方法

摘要

一种具有毫微纳三级结构复眼透镜的制造方法，先制得具有PMMA薄膜的第一样片，在第一样片上制得具有纳米结构的第二样片，使用PDMS浇灌第二样片，制得具有纳米结构的第一反模具；然后制得用于激光加工的第三样片，在第三样片表面涂覆一层能紫外固化且固化后具有柔韧性的胶材料，使用第一反模具将纳米结构压印到胶材料上，制得具有纳米结构且可用于激光加工的第四样片，使用激光加工第四样片，制得具有纳米+微米复眼透镜阵列的第五样片，将PDMS旋涂在第五样片上，制得具有微纳复合结构的第二反模具，最后使用第二反模具，实现纳米+微米复眼透镜阵列的二次曲面化，本发明实现了毫微纳三级结构复眼透镜的制造，制造效率和结构完整性高。

主权项

一种具有毫微纳三级结构复眼透镜的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：1)使用PMMA甲苯溶液于第一玻璃基底上制得具有PMMA薄膜的第一样片；2)使用多孔氧化铝作为模具，利用纳米压印技术在第一样片上制得具有纳米结构的第二样片；3)使用PDMS浇灌第二样片，制得具有纳米结构的第一反模具；4)在第二玻璃基底上涂覆一层激光膨胀材料，制得用于激光加工的第三样片；5)在第三样片表面涂覆一层能紫外固化且固化后具有柔韧性的胶材料，使用第一反模具将纳米结构压印到胶材料上，制得具有纳米结构且可用于激光加工的第四样片；6)使用激光加工第四样片，使膨胀层产生微米级透镜状凸起，带动纳米结构的胶材料发生形变，实现纳米结构的三维曲面化，制得具有纳米+微米复眼透镜阵列的第五样片；7)将PDMS旋涂在第五样片上，制得具有微纳复合结构的第二反模具；8)使用第二反模具，利用气压辅助成形技术实现纳米+微米复眼透镜阵列的二次曲面化，制造毫米级尺度的透镜，实现毫微纳三级结构复眼透镜的制造。