曝光装置及曝光方法、以及器件制造方法

摘要

一种曝光装置(100)，其向标线片(R)照射照明光(IL)，将在标线片(R)的图案面形成的图案转印至晶圆(W)，该曝光装置(100)具有：标线片载台(RST)，其保持标线片(R)并且移动；以及传感器(30)，其对于保持在标线片载台(RST)的标线片(R)的所述图案面照射测量光，检测来自图案面的斑点。

主权项

一种曝光装置，其向掩膜照射能量束，将在所述掩膜的图案面形成的图案转印至物体，所述曝光装置的特征在于，具有：掩膜载台，其保持所述掩膜并且移动；以及传感器，其对于保持在所述掩膜载台的所述掩膜的规定面照射测量光，获得来自所述规定面的与斑点有关的信息。