| 摘要 |
실리콘 웨이퍼(60)의 회전과 승강 운동을 발생시키는 제1 장치(40), 실리콘 웨이퍼의 평행 이동을 발생시키는 제2 장치(50) 및 광원, 렌즈, 이미지 센서(20)를 포함하는 위치 탐지 장치를 포함하고, 광원으로부터 발산되는 광속은 실리콘 웨이퍼와 렌즈를 경과한 후, 실리콘 웨이퍼의 위치 정보를 이미지 센서로 전송하고, 제1 장치와 제2 장치는 이미지 센서가 획득한 위치 정보에 근거하여 실리콘 웨이퍼의 위치를 조절할 수 있는 실리콘 웨이퍼 프리 얼라인 장치를 제공한다. 또한, TSV에 대해 프리 얼라이닝하는 방법을 더 제공한다. |
