一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置

摘要

本实用新型公开了一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，包括自上而下设置的承载台、掩膜底座、掩膜图版和压条，所述掩膜底座为一个中空的方形框架，所述承载台嵌套于掩膜底座内，所述掩膜底座和掩膜图版上均设置有对准槽，所述掩膜底座、掩膜图版和压条上均设置有圆孔，圆孔内设有螺丝将掩膜底座、掩膜图版和压条紧固为一体式。本实用新型采用全金属材料，不易变形、老化、可反复使用。本实用新型的导热性好，可以通过镀膜机的机台冷却，保护样品不受高温的影响。当掩膜图形改变时，仅需要只要重新设计掩膜图版进行替换就可，装置其他部分可以继续使用，降低成本。

主权项

一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于：包括自上而下设置的承载台（1）、掩膜底座（2）、掩膜图版（3）和压板（4），所述掩膜底座（2）为一个中空的方形框架，所述承载台（1）嵌套于掩膜底座（2）内，所述掩膜底座（2）和掩膜图版（3）上均设置有对准槽，所述掩膜底座（2）、掩膜图版（3）和压板（4）上均设置有圆孔，圆孔内设有螺丝将掩膜底座（2）、掩膜图版（3）和压板（4）紧固为一体式。