| 发明名称 | 无掩膜阻焊曝光机 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种无掩膜阻焊曝光机，包括至少一组激光器Ⅰ（11）和激光器Ⅱ（12），以及光束会聚器（2）；所述激光器Ⅰ（11）置于光束会聚器（2）上方，所述激光器Ⅱ（12）置于光束会聚器（2）前方；所述光束会聚器（2）后方依次设有凸透镜Ⅰ（3）、凸透镜Ⅱ（4）、反射镜（5）和可旋转单像素成像单元（6）；所述可旋转单像素成像单元（6）正下方设置基板（7）。本无掩膜阻焊曝光机取消了掩膜曝光的方式，取而代之的是扫描式无掩膜曝光。本无掩膜阻焊曝光机在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。 | ||
| 申请公布号 | CN205539931U | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201620208338.0 | 申请日期 | 2016.03.18 |
| 申请人 | 江苏影速光电技术有限公司 | 发明人 | 平洁 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人 | 周爱芳 |
| 主权项 | 一种无掩膜阻焊曝光机，其特征在于，包括至少一组激光器Ⅰ（11）和激光器Ⅱ（12），以及光束会聚器（2）；所述激光器Ⅰ（11）置于光束会聚器（2）上方，所述激光器Ⅱ（12）置于光束会聚器（2）前方；所述光束会聚器（2）后方依次设有凸透镜Ⅰ（3）、凸透镜Ⅱ（4）、反射镜（5）和可旋转单像素成像单元（6）；所述可旋转单像素成像单元（6）正下方设置基板（7）。 | ||
| 地址 | 221399 江苏省徐州市邳州市经济开发区华山路 | ||