| 摘要 |
Настоящее изобретение относится к опорному элементу для анодной штанги магнетронного распылителя и к магнетронному распылительному устройству, содержащему опорный элемент. Опорный элемент содержит опорную штангу и экран распылителя, который может быть прочно соединен с опорной штангой. Первая концевая часть опорной штанги выполнена в качестве опорного конца, взаимодействующего с анодной штангой, а вторая концевая часть выполнена в качестве установочного конца, который может быть прочно соединен с установочным отверстием экрана распылителя с тем, чтобы предотвратить выпадение опорной штанги из установочного отверстия. Поперечное сечение установочного конца меньше относительно поперечного сечения основной части опорной штанги. Опорная штанга опорного элемента в соответствии с настоящим изобретением может быть прочно соединена с экраном распылителя без возможности непредусмотренного отсоединения. |
