| 发明名称 | 一种制备风速管防冰敷涂层的离子束镀膜装置 | ||
| 摘要 | 一种制备风速管防冰敷涂层的离子束镀膜装置，包括：真空腔室，通过管路与气源连通；工作台，安装在所述真空腔室内，待镀膜的风速管置于所述工作台上，所述工作台分别安装有用于驱动所述工作台转动的公转驱动电机和用于驱动所述风速管转动的自转驱动电机；磁过滤阴极真空弧离子源，安装在所述真空腔室的侧壁上；阳极层离子源，安装在所述真空腔室的侧壁上；复合磁控溅射源，安装在所述真空腔室的侧壁上；其中，所述磁过滤阴极真空弧离子源、阳极层离子源及所述复合磁控溅射源与所述侧壁的接口处的中心线位于同一水平面内。 | ||
| 申请公布号 | CN205529015U | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201620094844.1 | 申请日期 | 2016.01.29 |
| 申请人 | 北京机械工业自动化研究所 | 发明人 | 金杰;黄晓林;王月 |
| 分类号 | C23C14/46(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 梁挥;尚群 |
| 主权项 | 一种制备风速管防冰敷涂层的离子束镀膜装置，其特征在于，包括：真空腔室，通过管路与气源连通；工作台，安装在所述真空腔室内，待镀膜的风速管置于所述工作台上，所述工作台分别安装有用于驱动所述工作台转动的公转驱动电机和用于驱动所述风速管转动的自转驱动电机；磁过滤阴极真空弧离子源，安装在所述真空腔室的侧壁上；阳极层离子源，安装在所述真空腔室的侧壁上；复合磁控溅射源，安装在所述真空腔室的侧壁上；其中，所述磁过滤阴极真空弧离子源、阳极层离子源及所述复合磁控溅射源与所述侧壁的接口处的中心线位于同一水平面内。 | ||
| 地址 | 100120 北京市西城区德胜门外教场口街一号 | ||