与外涂的光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物

摘要

提供一种有机涂料组合物，尤其是减反射涂料组合物，所述组合物是包含含有一种或多种尿嘧啶部分的组分的组合物。本发明优选的组合物在减少从基材反回到外涂光致抗蚀剂层的曝光辐射的反射和/或作为平坦化、保形或塞孔层使用是有用的。

主权项

一种涂布的基材，包含：(a)基材上的一涂料组合物层，所述涂料组合物包含树脂；(b)在涂料组合物层上的光致抗蚀剂层，其特征在于，所述树脂含有一种或多种尿嘧啶部分和聚酯键合，所述树脂具有下述结构：其中R表示氢或非氢取代基。