| 发明名称 | 集成湿度传感器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 提出一种具有至少一个测量电容器和一个作为电介质的潮湿敏感的聚合物的集成湿度传感器，所述湿度传感器也适合使用在肮脏的、例如有微粒的测量环境中。为此，所述湿度传感器(10)的测量电容器以平板电容器的形式在传感器元件(10)的层结构中实现，其中两个电极中的外部电极(61)位于所述层结构的表面中。潮湿敏感的聚合物层(5)位于所述测量电容器的两个电极(31，61)之间，所述聚合物层通过所述测量电容器的外部电极(61)中的潮湿可穿透的路径(7)与测量环境接触。所述潮湿可穿透的路径(7)从所述传感器元件(10)的表面延伸至所述聚合物层(5)，其中所述潮湿可穿透的路径(7)的横向延展如此小，使得所述路径不显著损害所述外部电极(61)内的导电性。 | ||
| 申请公布号 | CN103946697B | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201280056521.8 | 申请日期 | 2012.10.04 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | H·本泽尔 |
| 分类号 | G01N27/22(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 郭毅 |
| 主权项 | 一种集成湿度传感器(10)，其具有至少一个测量电容器和一个作为电介质的潮湿敏感的聚合物(5)，所述电介质与测量环境存在接触，其中，·所述测量电容器以平板电容器的形式在传感器元件(10)的层结构中实现，其中，两个电极中的外部电极(61)位于所述层结构的表面中；·潮湿敏感的聚合物层(5)位于所述测量电容器的两个电极(31，61)之间；·钝化层(4)位于所述外部电极(61)的边缘区域与下方电极(31)之间，所述钝化层使所述两个电极彼此电绝缘；·在所述测量电容器的外部电极(61)中构造有潮湿可穿透的路径(7)，所述潮湿可穿透的路径从所述传感器元件(10)的表面延伸至所述聚合物层(5)，其中，所述潮湿可穿透的路径(7)的横向延展如此小，使得所述路径不显著损害所述外部电极(61)内的导电性。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||