微芯片型光学测量装置及其光学位置调整方法

摘要

提供了一种能够高精度地自动调整微芯片相对于激光的光轴的位置的微芯片型光学测量装置。该微芯片型光学测量装置设置有：检测通过将激光投影在微芯片而产生的光的照射检测单元；改变微芯片相对于照射检测单元的相对位置的位置调整单元；以及向位置调整单元输出朝向其中预设定区域中的所述光的检测强度的积分值或者平均值变得较大的位置移动的信号的控制单元。

主权项

一种微芯片型光学测量装置，包括：照射检测单元，检测通过使用激光照射微芯片而产生的光；位置调整单元，改变所述微芯片相对于所述照射检测单元的相对位置；以及控制单元，向所述位置调整单元输出至预设定区域中的所述光的检测强度的积分值或者平均值变大的位置的移动信号。