| 摘要 |
【課題】塗布材料を複数の分割パターンに低コストでかつ精度よく塗布することを可能にした塗布方法を提供することにある。【解決手段】実施形態の塗布方法は、外面を有する長尺なヘッド本体１１と、ヘッド本体１１の外面に設けられた複数の塗布領域１２と、ヘッド本体１１の長尺方向と略直交する方向に沿って隣接する塗布領域１２間に設けられた分離領域１３とを備える塗布ヘッド１０を用意する。塗布ヘッド１０を基板２の塗布面２ａ上に所定の間隙を持って配置する。塗布ヘッド１０と塗布面２ａとの間に塗布材料３を供給し、複数の塗布領域１２に跨って塗布材料３のメニスカス柱４を形成する。基板２を移動させ、メニスカス柱４を複数の塗布領域１２に対応させて複数に分離させつつ塗布面に塗布する。【選択図】図７ |
