发明名称 |
鳍式双极结型晶体管及其形成方法 |
摘要 |
一种鳍式双极结型晶体管及其形成方法,所述鳍式双极结型晶体管包括:基底;位于基底上掺杂有杂质的鳍部,所述鳍部为第一区;位于所述第一区上基区;位于所述基区上或基区内的第二区,所述第一区为发射区、第二区为集电区或者第一区为集电区、第二区为发射区。本鳍式双极结型晶体管,基区与发射区之间形成的PN结具有较大的面积,该PN结面积可调,且可调范围很大。 |
申请公布号 |
CN104124153B |
申请公布日期 |
2016.08.31 |
申请号 |
CN201310156947.7 |
申请日期 |
2013.04.28 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
陶佳佳;三重野文健;李勇;张帅;黄新运;居建华 |
分类号 |
H01L21/331(2006.01)I;H01L29/73(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/331(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种鳍式双极结型晶体管的形成方法,其特征在于,包括:提供基底;在所述基底上形成掺杂有杂质的鳍部,作为第一区;在所述第一区上形成基区;在所述基区上或基区内形成第二区,所述第一区为集电区、第二区为发射区或者所述第一区为发射区、第二区为集电区。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |