发明名称 鳍式双极结型晶体管及其形成方法
摘要 一种鳍式双极结型晶体管及其形成方法,所述鳍式双极结型晶体管包括:基底;位于基底上掺杂有杂质的鳍部,所述鳍部为第一区;位于所述第一区上基区;位于所述基区上或基区内的第二区,所述第一区为发射区、第二区为集电区或者第一区为集电区、第二区为发射区。本鳍式双极结型晶体管,基区与发射区之间形成的PN结具有较大的面积,该PN结面积可调,且可调范围很大。
申请公布号 CN104124153B 申请公布日期 2016.08.31
申请号 CN201310156947.7 申请日期 2013.04.28
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 陶佳佳;三重野文健;李勇;张帅;黄新运;居建华
分类号 H01L21/331(2006.01)I;H01L29/73(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 主分类号 H01L21/331(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 骆苏华
主权项 一种鳍式双极结型晶体管的形成方法,其特征在于,包括:提供基底;在所述基底上形成掺杂有杂质的鳍部,作为第一区;在所述第一区上形成基区;在所述基区上或基区内形成第二区,所述第一区为集电区、第二区为发射区或者所述第一区为发射区、第二区为集电区。
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