用于提供顺序功率脉冲的方法

摘要

本发明涉及一种用于为PVD溅射阴极提供功率脉冲的方法，所述溅射阴极被细分为部分阴极，其中在所述部分阴极处有效的功率脉冲间隔被选择为使得其重叠，由此实现从提供功率的发生器的功率提取不必中断。

主权项

一种用于提供具有可缩放的功率脉冲间隔的功率脉冲以用于运行PVD溅射阴极的方法，所述PVD溅射阴极包括第一部分阴极和第二部分阴极，其中针对所述部分阴极预先给定最大平均功率施加，并且其中预先给定所述功率脉冲间隔的时长，并且该方法包括下列步骤：a）提供发生器，其具有预先给定的功率输出，b）接通所述发生器，c）将第一部分阴极连接到所述发生器，使得由发生器给第一部分阴极施加功率，d）在预先给定的对应于第一部分阴极的第一功率脉冲间隔期满以后，将所述发生器与第一部分阴极分开，e）将第二部分阴极连接到所述发生器，使得由发生器给第二部分阴极施加功率，f）在预先给定的对应于第二部分阴极的第二功率脉冲间隔期满以后，将所述发生器与第二部分阴极分开，其中第一功率脉冲间隔在时间上在第二功率脉冲间隔以前开始，并且第一功率脉冲间隔在时间上在第二功率脉冲间隔结束以前结束，其特征在于，步骤d）和e）被实施为使得第一功率脉冲间隔和第二功率脉冲间隔在时间上轻微重叠，并且所有功率脉冲间隔一起形成第一群，使得所述发生器的功率输出在从第一功率脉冲间隔的开始直至第二功率脉冲间隔的结束没有中断地保持连续，并且不发生第二功率构造间隔，其中在两个功率脉冲间隔重叠的时间期间，等离子体仅仅在第一部分阴极处燃烧，并且只有当在第一功率脉冲间隔结束时，第一部分阴极才与发生器分开，第二部分阴极处的等离子体点燃得如此快，以至于从发生器的功率提取是连续的。