一种新型多片衬底喷涂装置

摘要

本发明涉及到微纳米技术领域，尤其涉及一种新型多片衬底喷涂装置。该新型多片衬底喷涂装置，包括工作面板、垫块底座、绝热底板、硅胶加热器、加热板和载片夹具。本发明所涉及的一种新型多片衬底喷涂装置能够同时在多个衬底放置方片上放置衬底，同时完成了多片衬底的喷涂，并且载片夹具更换方便。此外，该新型多片衬底喷涂装置结构设计合理，对衬底的喷涂高效快捷，适合推广使用。

主权项

一种新型多片衬底喷涂装置，包括工作面板（1）、垫块底座（2）、绝热底板（3）、硅胶加热器（4）、加热板（5）和载片夹具（6），其特征在于：所述绝热底板（3）的底部通过垫块底座（2）固定在工作面板（1）上，所述绝热底板（3）上设有硅胶加热器（4），所述硅胶加热器（4）上设有加热板（5），所述加热板（5）上设有多条横行真空吸槽（15）和一条纵向真空吸槽（16），所述横行真空吸槽（15）通过纵向真空吸槽（16）连接在一起，所述加热板（5）的一侧设有真空气管接头（12），所述真空气管接头（12）与一条横行真空吸槽（15）的一端通过主连接吸孔（17）连通，所述加热板（5）上设有两个夹具直角限位块（7）和两个夹具三角限位块（8），所述载片夹具（6）放置在加热板（5）上，所述载片夹具（6）上设有多个封闭真空吸槽（13）， 所述封闭真空吸槽（13）与横行真空吸槽（15）和纵向真空吸槽（16）之间通过多个次连接吸孔（14）连通，所述载片夹具（6）上对应每个封闭真空吸槽（13）设有两个L形状挡块（10），所述L形状挡块（10）内设有衬底放置方片（9）。