双氨基烷氧基硅烷化合物和使用其沉积含硅膜的方法

摘要

本文描述式I的双氨基烷氧基硅烷以及其使用方法：R¹Si(NR²R³)(NR⁴R⁵)OR⁶ I其中R¹选自氢、C₁至C₁₀直链烷基、C₃至C₁₀支链烷基、C₃至C₁₀环烷基、C₃至C₁₀烯基、C₃至C₁₀炔基、C₄至C₁₀芳族烃基；R²、R³、R⁴和R⁵各自独立地选自氢、C₄至C₁₀支链烷基、C₃至C₁₀环烷基、C₃至C₁₀烯基、C₃至C₁₀炔基和C₄至C₁₀芳族烃基；R⁶选自C₁至C₁₀直链烷基、C₃至C₁₀支链烷基、C₃至C₁₀环烷基、C₃至C₁₀烯基、C₂至C₁₀炔基和C₄至C₁₀芳族烃基。

主权项

具有式I的双氨基烷氧基硅烷化合物：R¹Si(NR²R³)(NR⁴R⁵)OR⁶      I其中R¹选自氢原子、C₁至C₁₀直链烷基、C₃至C₁₀支链烷基、C₃至C₁₀环烷基、C₃至C₁₀烯基、C₃至C₁₀炔基、C₄至C₁₀芳族烃基；R²、R³、R⁴和R⁵各自独立地选自氢原子、C₄至C₁₀支链烷基、C₃至C₁₀环烷基、C₃至C₁₀烯基、C₃至C₁₀炔基和C₄至C₁₀芳族烃基；R⁶选自C₁至C₁₀直链烷基、C₃至C₁₀支链烷基、C₃至C₁₀环烷基、C₃至C₁₀烯基、C₂至C₁₀炔基和C₄至C₁₀芳族烃基；和任选地其中式I中的R²与R³、R⁴与R⁵、或这两者可连接在一起形成环；和任选地其中式I中的R²和R⁴可连接在一起形成二氨基。