用于半导体装置导孔间距的方法

摘要

本发明涉及用于半导体装置导孔间距的软件与方法，提供一种可用计算机读取的软件产品，其用于执行决定半导体装置中多个电源轨导孔的位置。该半导体装置包含主动区域以及电源轨。第一导孔以及第二导孔的位置是沿着该电源轨而配置，该第一导孔位置以及第二导孔位置的间距是可允许的最小间距。该第二导孔位置与该主动区域中的结构位置之间，可能发生电性干扰的间距可被决定。该第二导孔的位置的改变是相应于该第二导孔位置与该主动区域中的一个结构的位置之间的间距小于预定的距离所做出的应对。

主权项

一种用于决定半导体装置中多个电源轨导孔位置的方法，其中，该半导体装置包含主动区域以及电源轨，其中，该电源轨包含电源轨导孔，该方法包括：沿着该电源轨配置第一电源轨导孔的位置；沿着该电源轨配置第二电源轨导孔的位置，其中，该第一电源轨导孔的该位置与该第二电源轨导孔的该位置之间的间距是依据该半导体装置的光刻可允许的最小间距；决定该第二电源轨导孔的该位置与可能与该第二电源轨导孔发生电性干扰的该主动区域中的结构的位置之间的间距；以及改变该第二电源轨导孔的该位置，以对该第二电源轨导孔的该位置与该主动区域中的一个该结构的该位置之间的间距小于一预定距离做出应对。