等离子体设备及工件位置检测方法

摘要

本发明公开一种等离子体设备和工件位置检测方法，该等离子体设备包括反应腔体，以及位于反应腔体之内的静电卡盘、顶针、和静电电源，等离子体设备还包括传感器、结果判断单元、以及结果处理单元，其中，所述传感器包括用于发送感测信号的发送模块、以及与所述发送模块对应的接收模块；所述结果判断单元，用于根据传感器的感测信号判断所述工件是否被所述顶针正常顶起；所述结果处理单元，根据所述结果判断单元的判断结果执行处理流程。通过本发明的等离子体设备和工件位置检测方法，能够在加工工艺中，及时获知工件是否正常升起，降低了在粘片现象发生时可能出现的坏片或者碎片的情况，减小了对机械手造成损害的可能性。

主权项

一种等离子体设备，包括反应腔体，以及位于反应腔体之内的静电卡盘、顶针和位于反应腔体外的电源，所述静电卡盘用于承载待加工的工件，其特征在于，所述等离子体设备还包括用于检测工件位置的传感器、结果判断单元、以及结果处理单元，其中，所述传感器包括发送模块以及与所述发送模块对应的接收模块；所述发送模块，用于向所述工件的上表面发送感测信号，以使所述感测信号被所述工件反射；所述接收模块，用于接收来自所述工件的上表面反射之后的感测信号；所述结果判断单元，根据所述传感器的感测信号判断所述工件是否被所述顶针正常顶起；所述结果处理单元，根据所述结果判断单元的判断结果执行处理流程；其中所述发送模块的发送方向与对应的接收模块的接收方向位于第一平面上，且所述发送方向与所述接收方向的交点位于被所述顶针正常顶起的工件的上表面，且所述第一平面垂直于所述上表面；所述发送方向为发送模块发送感测信号的方向，所述接收方向为对应的接收模块接收反射后的感测信号的方向。