掩膜板

摘要

本发明公开了一种掩膜板，包括设置在掩膜板透光区域中的能够减少透射光衍射的结构。本发明的掩膜板透光孔中设置有能够减少透射光衍射的结构，该结构通过控制透射光的衍射，使得在光刻胶上因曝光而产生的孔尽量不扩大，以保证刻蚀工艺后形成的过孔实现小型化，满足精细化布线的要求，有效提高液晶显示器分辨率。

主权项

一种掩膜板，其特征在于，包括设置在掩膜板透光区域中的能够减少透射光衍射的结构；所述结构为层叠透光膜，包含有重叠的多层透光膜，各层透光膜的透光孔尺寸依次递增或递减；或者，所述结构为衍射突起，所述掩膜板透光区域中包含一层或一层以上的衍射突起。