金属粉末制造用等离子体装置和制造金属粉末的方法

摘要

本发明提供一种金属粉末制造用等离子体装置，其具备：反应容器，等离子枪，载气供给部和冷却管。金属原料被供给至容器。等离子枪在其与金属原料之间生成等离子体，使所述金属原料蒸发而生成金属蒸气。供给部将用于输送所述金属蒸气的载气供给进入容器。冷却管设置有间接和直接冷却区域并冷却从容器移送的所述金属蒸气而生成金属粉末。在间接冷却区域中间接冷却所述金属蒸气及/或金属粉末，并在直接冷却区域中直接冷却。在所述间接冷却区域的内壁的至少一部分设有凸部及/或凹部。

主权项

一种金属粉末制造用等离子体装置，其具备：反应容器，向其供给金属原料；等离子枪，在其与所述反应容器内的金属原料之间生成等离子体，使所述金属原料蒸发而生成金属蒸气；载气供给部，其向所述反应容器内供给用于输送所述金属蒸气的载气；冷却管，其将通过所述载气从所述反应容器移送的所述金属蒸气进行冷却而生成金属粉末，其特征在于，所述冷却管具备：对通过所述载气从所述反应容器移送的所述金属蒸气及/或金属粉末间接进行冷却的间接冷却区域；与所述间接冷却区域相接，对所述金属蒸气及/或金属粉末直接进行冷却的直接冷却区域，在所述间接冷却区域的内壁的至少一部分设有用于对冷却管内的载气及金属蒸气进行搅拌的凸部及/或凹部。