氯化氢气体喷出用构件及三氯硅烷制造用反应装置和方法

摘要

本发明提供一种氯化氢气体喷出用构件及三氯硅烷制造用反应装置和方法，氯化氢气体喷出用构件（1）在使氯化氢气体与金属硅粉末发生反应来生成三氯硅烷的三氯硅烷制造用反应装置中使用，具有朝向长度方向延伸的轴部（2）、和沿与该轴部（2）的上述长度方向交叉的方向延伸的头部（3），轴部（2）上设有朝向上述长度方向延伸的供给孔（4），头部（3）上形成有多个喷出孔（5），喷出孔（5）与供给孔（4）连通，并且沿与供给孔（4）的延伸方向交叉的方向延伸而在头部（3）外表面开口。

主权项

一种三氯硅烷制造用反应装置，使氯化氢气体与金属硅粉末发生反应来生成三氯硅烷，其特征在于，该三氯硅烷制造用反应装置具有被供给上述金属硅粉末的装置主体、从该装置主体的底部侧将上述氯化氢气体向上述装置主体内导入的多个氯化氢气体喷出用构件，上述氯化氢气体喷出用构件具有朝向长度方向延伸的轴部、沿与该轴部的上述长度方向交叉的方向延伸的头部、和与上述轴部的供给孔连通地连接的均压管，上述轴部上设有朝向上述长度方向延伸的供给孔，上述轴部的外周面上形成有螺纹部，所述螺纹部与螺母螺纹连接，上述头部上形成有多个喷出孔，上述头部的侧面上形成有两个平面状侧面，所述两个平面状侧面为与上述轴部的长度方向平行且相互平行的两个平面状侧面，各喷出孔与上述供给孔连通，并且沿与上述供给孔的延伸方向交叉的方向延伸而在上述头部的外表面开口，上述氯化氢气体喷出用构件贯穿上述装置主体的底板部而可装卸地安装，上述头部配置在上述底板部上方，上述螺母从上述底板部的下表面侧旋入到形成在上述轴部上的螺纹部上，用上述螺母和上述头部夹入上述底板部而固定到上述底板部，在上述头部与上述底板部的上表面之间以及在上述螺母与上述底板部的下表面之间分别设有垫圈。