| 发明名称 | 压印装置和制造物品的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了通过使用模具使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，该压印装置包括：检测单元，被配置成检测照射模具的第一标记和基板的第二标记的第一光并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用第二光照射基板以便加热基板并使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于位置偏差控制模具与基板之间的对准，其中，检测单元或加热单元的参数被设定成在检测第一光并且用第二光照射基板时检测单元不检测第二光。 | ||
| 申请公布号 | CN105917442A | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201580005034.2 | 申请日期 | 2015.01.20 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 佐藤一洋;长谷川敬恭;松本隆宏 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I;B29C59/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 宋岩 |
| 主权项 | 一种通过使用其上形成有图案的模具来使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置，包括：检测单元，被配置成用第一光照射模具的第一标记和基板的第二标记，检测来自第一标记和第二标记的第一光，并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差；加热单元，被配置成用用于加热的第二光经由模具照射基板，并加热基板以使压射区域变形；以及控制单元，被配置成基于位置偏差控制模具与基板之间的对准；其中，检测单元的参数、加热单元的参数或检测单元和加热单元的参数被设定成在通过使用检测单元来检测来自第一标记和第二标记的第一光并且通过使用加热单元来用第二光照射基板且加热基板时，检测单元不检测由模具和基板中的至少一个反射的第二光。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||