| 摘要 |
장치의 조립, 메인터넌스가 용이한 액처리 장치를 제공한다. 액처리 장치(1)에서, 액처리 유닛(2)은 처리액에 의해 기판(W)에 대하여 액처리를 행하고, 급액용 배관(561, 562)은 일단측이 액처리 유닛(2)에 접속되고, 타단측이 그 하방측으로 연장되어있어, 당해 액처리 유닛(2)으로 처리액을 공급한다. 하우징 기체(46)는, 이 급액용 배관(561, 562)에 개재하는 통류 제어 기기군(402)이 장착되고, 하우징 기체(46) 내에, 액처리 장치(1)의 측방에 위치하는 메인터넌스 영역을 향하도록 각각 설치되고, 통류 제어 기기군(402)보다 상류측인 급액용 배관(561)을 착탈하기 위한 상류측의 접속 포트(403) 및 하류측인 급액용 배관(562)을 착탈하기 위한 하류측의 접속 포트(406)를 구비한다. |
