一种ITO靶材磨边倒角机

摘要

本实用新型涉及一种ITO靶材磨边倒角机，包括电机机架、三个磨头电机、三个金刚石砂轮、平台机架、调速电机、丝杆、工作平台和直线导轨，三个磨头电机分别通过滑动组件安装在电机机架上，三个金刚石砂轮分别安装在三个磨头电机上，直线导轨安装在平台机架上，工作平台通过滑块安装在直线导轨上，丝杆与调速电机连接，工作平台的底端与丝杆通过螺纹连接；三个磨头电机的中轴线与工作平台平面的位置关系分别为：呈向上30～60度角、平行、呈向下30～60度角。本实用新型的磨边倒角尺寸精度可控制在±0.1mm以内，可以同时完成倒上棱角、磨边和倒下棱角的工作，能够提高ITO靶材磨边倒角工序的工作效率和工作质量。

主权项

一种ITO靶材磨边倒角机，其特征在于：包括电机机架（3）、三个磨头电机（7）、三个金刚石砂轮（8）、平台机架（1）、调速电机（11）、丝杆（10）、工作平台（9）和直线导轨（2），所述的三个磨头电机（7）分别通过滑动组件安装在电机机架（3）上，三个金刚石砂轮（8）分别安装在三个磨头电机上，所述的直线导轨（2）安装在平台机架（1）上，工作平台（9）通过滑块（13）安装在直线导轨（2）上，丝杆（10）与调速电机（11）连接，工作平台的底端与丝杆通过螺纹连接；三个磨头电机中，其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面呈向上30～60度角，其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面平行，其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面呈向下30～60度角。