一种晶片测量装置

摘要

为解决现有技术中不同尺寸晶片难以通过固定的高精度测量千分表进行厚度测量的问题，本实用新型研发了一种晶片测量装置，属于蓝宝石衬底加工技术设备领域，包括高精度测量千分表，其特征在于：还包括载台基板，所述载台基板上固定设置有可移动滑轨，所述高精度测量千分表活动设置于可移动滑轨上。本实用新型通过设置载台基板和可移动滑轨，使高精度测量千分表能够沿可移动滑轨自由移动，针对不同尺寸的晶片，通过移动高精度测量千分表进行定位和厚度测量，彻底改变了现有技术中使用固定高精度测量千分表对固定尺寸的晶片进行测量的局限。本实用新型操作简单、测量更加高效快捷，精度稳定性得到很大提升。

主权项

一种晶片测量装置，包括高精度测量千分表（1），其特征在于：还包括载台基板（2），所述载台基板（2）上固定设置有可移动滑轨（3），所述高精度测量千分表（1）活动设置于可移动滑轨（3）上。