蒸发源装置和蒸镀设备

摘要

本发明提供一种蒸发源装置和蒸镀设备，包括壳体和设置在该壳体内的坩埚，所述蒸发源装置还包括升降机构，用于带动所述坩埚沿所述壳体的高度方向升降，所述升降机构能够带动所述坩埚上升至高于所述壳体开口的位置。在本发明中，所述升降机构可以带动所述坩埚升高至壳体开口上方，从而便于所述坩埚的取放。

主权项

一种蒸发源装置，包括壳体和设置在该壳体内的坩埚，其特征在于，所述蒸发源装置还包括升降机构，用于带动所述坩埚沿所述壳体的高度方向升降，所述升降机构能够带动所述坩埚上升至高于所述壳体开口的位置；所述蒸发源装置还包括具有加热部的加热机构和具有第一冷却部的第一冷却机构，所述加热部设置在所述壳体内，用于对所述坩埚进行加热，所述第一冷却部设置在所述加热部和所述壳体的侧壁之间，所述壳体内还设置有具有第二冷却部的第二冷却机构，所述第二冷却部的位置低于所述第一冷却部的位置，所述升降机构能够带动所述坩埚下降至与所述第二冷却部相对应的位置。