一种光学薄膜激光毁伤的识别装置及识别方法

摘要

本发明公开了一种光学薄膜激光毁伤的识别方法及装置，通过采集质荷比分布，用计算机软件进行质谱分析与元素判别，就能确定所毁伤材料中包含的元素种类，从而准确、在线、快速判别出薄膜是否发生损伤。采用该方法的装置由测试样品台、质荷比采集系统及计算机运算系统组成。本发明能够实现在线、实时、快速、准确判别薄膜或光学元件在强激光下的毁伤状态。将该方法应用于激光损伤阈值测试中，可实现测试系统的集成化、自动化、智能化。

主权项

一种光学薄膜激光毁伤的识别装置，其特征在于：包括激光器(1)以及测试样品(2)；测试样品(2)安装于测试样品台(9)上，测试样品台(9)为由步进电机控制的二维移动平台；激光器(1)正对测试样品(2)的待测表面，测试样品台(9)的一侧设置有用于加速经激光辐照样品所溅射出的微粒，并形成准直粒子束的加速电极(4)，且测试样品台(9)与加速电极(4)之间还设置有用于提高离子含量的电子源(3)；加速电极(4)的后端设置使离子发生偏转的磁场(5)，与加速电极(4)平行的一侧设置有用于接收不同偏转半径的离子的若干接收电极(6)，这些接收电极(6)并排平行设置；接收电极(6)的输出端均连接到A/D转换器(7)的信号输入端上，A/D转换器(7)的信号输出端连接有用于生成溅射粒子质荷比谱图的计算机(8)。