样品台及显微镜系统

摘要

本发明提供了一种样品台及显微镜系统，所述样品台适用于电子背散射衍射式的工作模式和透射式电子衍射的工作模式，样品台包括：支撑架、及装配在所述支撑架上的样品槽；其中，支撑架包括支撑台、及支撑杆；支撑杆与支撑台连接，支撑台与支撑杆成142度。使用所述样品台时，将其固定在二次电子显微镜的载物台上，并使支撑杆与载物台成90度。通过将支撑台与支撑杆设计成两者之间成142度，且支撑杆与载物台成90度的结构，在样品台装载样品进行测试分析时，通过调整载物台的倾转和/或旋转，即可以大范围的调整样品与水平面的倾转角，从而可根据实际需要进行电子背散射衍射的工作模式与透射式电子衍射的工作模式之间的切换。

主权项

一种样品台，适用于电子背散射衍射式的工作模式和透射式电子衍射的工作模式，其特征在于，包括：支撑架、及装配在所述支撑架上的样品槽；其中，所述支撑架包括支撑台、及支撑杆；所述支撑杆与所述支撑台连接，所述支撑台与支撑杆成142度；其中，所述样品槽包括样品架、固定在所述样品架上的固定元件、及与所述样品架连接的连接杆，所述样品台固定在二次电子显微镜的载物台上，通过调整载物台的倾转和/或旋转以使样品台适用于电子背散射衍射的工作模式和透射式电子衍射的工作模式。