| 发明名称 | 基板清洗装置、基板清洗方法以及基板处理装置 | ||
| 摘要 | 公开一种基板清洗装置，该基板清洗装置使基板旋转，并使清洗部件与旋转的基板接触而清洗基板。基板清洗装置具有：自清洁部件，该自清洁部件设置于支承所述清洗部件的臂，与所述清洗部件接触而对清洗部件进行自我清洗；以及移动机构，该移动机构设置于支承所述清洗部件的臂，使所述自清洁部件在与所述清洗部件接触的位置和从所述清洗部件离开的位置之间移动。 | ||
| 申请公布号 | CN105895556A | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201610086720.3 | 申请日期 | 2016.02.16 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 田中英明 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 梅高强;张丽颖 |
| 主权项 | 一种基板清洗装置，使基板旋转，并使清洗部件与旋转的基板接触而清洗基板，该基板清洗装置的特征在于，具有：自清洁部件，该自清洁部件设置于支承所述清洗部件的臂，与所述清洗部件接触而对清洗部件进行自我清洗；以及移动机构，该移动机构设置于支承所述清洗部件的臂，使所述自清洁部件在与所述清洗部件接触的位置和从所述清洗部件离开的位置之间移动。 | ||
| 地址 | 日本东京都大田区羽田旭町11番1号 | ||