发明名称 用于降低半导体装置中的泄漏电流的结层间电介质
摘要 本发明涉及用于降低半导体装置中的泄漏电流的结层间电介质。半导体装置包括衬底和在衬底上的包括掺杂的III‑V材料的p掺杂层。在p掺杂层上形成电介质中间层。在电介质中间层上形成n型层,n型层包括高带隙II‑VI材料以形成电子装置。
申请公布号 CN105895668A 申请公布日期 2016.08.24
申请号 CN201610081031.3 申请日期 2016.02.05
申请人 国际商业机器公司 发明人 J·P·德索扎;K·E·弗格尔;J·吉姆;D·K·萨达纳;B·A·瓦卡塞尔
分类号 H01L29/06(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L29/861(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I 主分类号 H01L29/06(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 刘倜
主权项 一种半导体装置,包括:衬底;p掺杂层,所述p掺杂层在所述衬底上,包括掺杂的III‑V材料;电介质中间层,所述电介质中间层形成在所述p掺杂层上;以及n型层,所述n型层形成在所述电介质中间层上,所述n型层包括高带隙II‑VI材料以形成电子装置。
地址 美国纽约