压力传感器

摘要

一种压力传感器(1)，包括可根据压力变形的测量隔膜(2)和以压密方式相互连接并且形成测量腔(5)的配合体(3)，在测量腔(5)中提供参考压力，其中压力可以施加到测量隔膜(2)的外侧，其中压力传感器(1)具有电容变送器，电容变送器具有至少一个配合体电极(8，9)和至少一个隔膜电极(7)，其中对压力限制值以上的压力，至少所述测量隔膜(2)的中心表面部分以接触面积(A(p))抵靠配合体，该接触面积的尺寸依赖于所述压力，其中压力传感器还具有电阻变送器，用于当在高于压力限制值的数值范围内压下时，使用依赖于所述测量隔膜(2)在所述配合体(3)上的接触面积的电阻值，将所述测量隔膜的压力相关变形转换为电信号。

主权项

一种压力传感器(1)，包括：测量隔膜(2)；以及配合体(3)，其中所述测量隔膜(2)与所述配合体(3)沿着圆周边缘压密连接，其中在所述配合体(3)和所述测量隔膜(2)之间形成测量腔(5)，在其中应用参考值，其中待测压力被施加到背对所述测量腔(5)的测量隔膜(2)的外侧，其中所述测量隔膜(2)根据压力变形，其中所述压力传感器(1)具有电容变送器，所述电容变送器具有至少一个配合体电极(8，9)和至少一个隔膜电极(7)，其中所述至少一个配合体电极(8，9)和所述隔膜电极(7)之间的电容依赖于所述测量隔膜(2)的压力相关变形，其中对压力限制值以上的压力，至少所述测量隔膜(2)的中心表面部分以尺寸依赖于该压力的抵靠面积(A(p))抵靠配合体，其中所述压力传感器进一步特征在于电阻变送器，用于根据依赖于所述测量隔膜(2)在所述配合体(3)上的抵靠面积的电阻，把压力限制值以上的数值范围内的压力下的所述测量隔膜的压力相关变形转换为电信号。