| 发明名称 | DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，包括：以倾斜角度置于底座（4）上表面的DMD集成组件（2）以及PCB板件（3）；所述DMD集成组件（2）为两套、倾斜平行对称分布在PCB板件（3）两侧；其中，DMD集成组件（2）的Z轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路（1）对同角度倾斜的PCB板件（3）A、B面同时进行平行曝光；本实用新型通过在PCB板件两边倾斜平行设置两套DMD器件投影光路能够同时曝光被曝光工件的正反两面，使得工作的效率提升一倍，更好的提高了产能，同时保证了产品的质量。 | ||
| 申请公布号 | CN205507355U | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201620060016.6 | 申请日期 | 2016.01.22 |
| 申请人 | 江苏影速光电技术有限公司 | 发明人 | 马汝治;赵华;张伟;徐巍;王翰文 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人 | 周爱芳 |
| 主权项 | 一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，其特征在于，包括：以倾斜角度置于底座（4）上表面的DMD集成组件（2）以及PCB板件（3）；所述DMD集成组件（2）为两套、倾斜平行对称分布在PCB板件（3）两侧；其中，DMD集成组件（2）的Z轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路（1）对同角度倾斜的PCB板件（3）A、B面同时进行平行曝光。 | ||
| 地址 | 221600 江苏省徐州市邳州市经济开发区华山路 | ||