| 摘要 |
경화 후의 투과율이 높으며, 또한 가열해도 투과율의 저하가 작은 경화막을 얻을 수 있고, PEB를 행하지 않을 경우에도, 매우 높은 감도를 갖는 감광성 수지 조성물을 제공한다. 상기 조성물은, (A) 아세탈계 수지, (B) 광산발생제, 및 (C) 용제를 함유하고, 당해 (A) 아세탈계 수지가, 산(酸)에 의해 카르복시기를 생성하는 구조를 갖는 구조 단위(a1), 카르복시기 또는 페놀성 수산기를 갖는 구조 단위(a2), 에폭시기 또는 옥세타닐기를 갖는 구조 단위(a3), 및 수산기 또는 알킬렌옥시기를 갖는 구조 단위(a4)를 함유하고, (a1)∼(a4)의 함유 비율이, 몰 환산으로, (a1):(a2):(a3):(a4)＝0.2∼0.65:0.02∼0.2:0.2∼0.6:0.005∼0.3이며, 또한, 당해 (A) 아세탈계 수지에 있어서의 (a4)의 함유량이 3∼30질량％의 범위이다. |
