设备间同步创建处理作业的方法和系统

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种设备间同步创建处理作业的方法和系统。本发明通过队列对货品排序，可以确保在任何情况下同步创建所有设备的处理作业，使各设备处理作业的创建进度保持一致，在所有设备的处理作业全部成功创建后才开始进行处理作业，不至于出现某一设备的处理作业完成但是另一设备的处理工作创建失败而出现晶圆报废或返工现象，不容易超出等待时间，从而降低了返工率，提高了inline机台的良率和生产能力。

主权项

一种设备间同步创建处理作业的方法，其特征在于，所述方法包括：控制装置接收预作业货品信息，将所述预作业货品信息列于队列中，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，并在所有设备均成功创建处理作业后，向执行终端发送处理作业请求；所述执行终端在接收到所述处理作业请求后，向所述控制装置发送处理作业开始命令；所述控制装置在接收到所述处理作业开始命令后，控制设备对所述队列中排在最前的预作业货品开始处理作业，并将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除；将开始处理作业的预作业货品信息从等待队列中移除，并判断所述队列中的预作业货品的批次数量是否大于0，若否，则所述队列中当前没有预作业货品，无需创建处理作业；若是，则所述队列中当前有预作业货品，对所述队列中排在最前的预作业货品同步创建所有设备的处理作业，其余批次预作业货品等待。