超分辨共聚焦光学显微镜与二次离子质谱联用系统

摘要

本发明公开了一种超分辨共聚焦光学显微镜与二次离子质谱联用系统。激光器a输出的激光经二向色性滤光片a滤光后汇聚至显微物镜，激光器b输出的激光依次经位相板和二向色性滤光片b滤光后汇聚至所述显微物镜；经显微物镜汇聚的激光照射至样品台，得到待测样品的荧光信号又经所述显微物镜汇聚后经收集透镜a收集后入射至光电探测器，光电探测器输出的光电信号输入至光学信号采集器；离子束发生器轰击待测样品得到二次离子，二次离子经拉出电极获得动能后，再经离子门筛选后由反射探测器探测，反射探测器输出的信号输入至SIMS信号采集器；离子束发生器和样品台均与位移控制器相连接。由超分辨的光学成像引导SIMS成像和分析，由于超分辨的共聚焦光学显微镜分辨率可接近SIMs的分辨率，可以实现更高精度的靶点定位。

主权项

一种超分辨共聚焦光学显微镜与二次离子质谱联用系统，其特征在于：激光器a输出的激光经二向色性滤光片a滤光后汇聚至显微物镜，激光器b输出的激光依次经位相板和二向色性滤光片b滤光后汇聚至所述显微物镜；经所述显微物镜汇聚的激光照射至样品台，得到待测样品的荧光信号又经所述显微物镜汇聚后经收集透镜a收集后入射至光电探测器，所述光电探测器输出的光电信号输入至光学信号采集器；离子束发生器轰击待测样品得到二次离子，所述二次离子经拉出电极获得动能后，再经离子门筛选后由反射探测器探测，所述反射探测器输出的信号输入至SIMS信号采集器；所述离子束发生器和样品台均与一位移控制器相连接。