三表面干涉式高精度曲面轮廓测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种三表面干涉式高精度曲面轮廓测量系统及方法。这是一种利用迈克尔逊干涉原理，获取被测零件表面三维轮廓信息的测量系统。首先用计算机控制半导体激光器进行波数扫描，与此同时CCD相机连续拍摄不同波数下的干涉图像。通过光路中光楔前后表面的干涉图像进行波数在线监测。然后将干涉图像每个像素沿时间轴傅立叶变换，在被测零件曲面轮廓和光楔前表面干涉信号峰值处，提取卷绕相位信息。解卷绕后，得到被测零件表面三维轮廓。本发明的曲面三维轮廓测量精度为±10nm，稳定可靠，不需经常实时效验，不需参考曲面，同时保持很高的测量精度。

主权项

一种三表面干涉式高精度曲面轮廓测量系统，包括激光控制器(1)、半导体激光器(2)、准直透镜(3)、分光镜(4)、偏振片(5)、被测零件(6)、光楔(7)、CCD相机(8)、计算机(9)。