发明名称 |
一种可调AuSn合金组分的热沉 |
摘要 |
一种可调AuSn合金组分的热沉,属于半导体器件制造领域。其结构为自下而上依为热沉层(1)、粘合层(2)、Au80Sn20合金层(3)、锡层或者含锡比例比Au80Sn20高的金锡层(4);通过在Au80Sn20合金层上蒸镀一层一定厚度的锡或者含锡比例比Au80Sn20高的金锡层的方式,调节金锡合金的组分。 |
申请公布号 |
CN105880859A |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201610244921.1 |
申请日期 |
2016.04.19 |
申请人 |
北京工业大学 |
发明人 |
崔碧峰;郝帅;房天啸 |
分类号 |
B23K35/14(2006.01)I;B23K35/40(2006.01)I |
主分类号 |
B23K35/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 |
代理人 |
张慧 |
主权项 |
一种可调AuSn合金组分的热沉,其特征在于,该热沉的结为自下而上依次为热沉层(1)、粘合层(2)、Au80Sn20合金层(3)、锡层或者含锡比例比Au80Sn20高的低金锡层(4);粘合层(2)在热沉(1)的上方,Au80Sn20合金层(3)在粘合层(2)的上方,锡或者含锡比例比Au80Sn20高的金锡层(4)在Au80Sn20合金层(3)的上方。 |
地址 |
100124 北京市朝阳区平乐园100号 |