发明名称 一种可调AuSn合金组分的热沉
摘要 一种可调AuSn合金组分的热沉,属于半导体器件制造领域。其结构为自下而上依为热沉层(1)、粘合层(2)、Au80Sn20合金层(3)、锡层或者含锡比例比Au80Sn20高的金锡层(4);通过在Au80Sn20合金层上蒸镀一层一定厚度的锡或者含锡比例比Au80Sn20高的金锡层的方式,调节金锡合金的组分。
申请公布号 CN105880859A 申请公布日期 2016.08.24
申请号 CN201610244921.1 申请日期 2016.04.19
申请人 北京工业大学 发明人 崔碧峰;郝帅;房天啸
分类号 B23K35/14(2006.01)I;B23K35/40(2006.01)I 主分类号 B23K35/14(2006.01)I
代理机构 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人 张慧
主权项 一种可调AuSn合金组分的热沉,其特征在于,该热沉的结为自下而上依次为热沉层(1)、粘合层(2)、Au80Sn20合金层(3)、锡层或者含锡比例比Au80Sn20高的低金锡层(4);粘合层(2)在热沉(1)的上方,Au80Sn20合金层(3)在粘合层(2)的上方,锡或者含锡比例比Au80Sn20高的金锡层(4)在Au80Sn20合金层(3)的上方。
地址 100124 北京市朝阳区平乐园100号