一种用于晶圆加工的轴心定位装置

摘要

本实用新型提出了一种用于晶圆加工的轴心定位装置，省去了在涂胶工艺过程中手动对准需要反复对准调整和确认的过程。该辅助工具具有弯折结构，主要由一组基础立面、一个基础台面和一组限位立面依次弯折形成，基础立面和限位立面均为平直的面；该弯折结构的水平投影形状是基于四边形缺角形成的多边形；弯折结构中所述基础台面的形状满足与载片台下表面贴合；基础立面与限位立面的距离满足所述一组基础立面与载片台支撑部侧壁相切的同时，所述一组限位立面与晶圆边缘相切。该辅助工具制作简单，使用方便，不需要更改设备设计，既保证了光刻涂胶工艺的稳定性，又缩短了手动对准反复调整和确认的耗时过程，提高了生产效率。

主权项

一种用于晶圆加工的轴心定位辅助工具，其特征在于：该辅助工具具有弯折结构，主要由一组基础立面、一个基础台面和一组限位立面依次弯折形成，基础立面和限位立面均为平直的面；该弯折结构的水平投影形状是基于四边形缺角形成的多边形，所述四边形中与缺角相邻的两个角均为直角，所述四边形中与缺角相对的一个角即所述一组限位立面形成的夹角，因缺角产生的两个邻边即所述一组基础立面；所述一组基础立面形成的夹角与所述一组限位立面形成的夹角相等；记所述一组基础立面所确立的内切圆的圆心为O点，半径为r，所述一组限位立面所确立的第二内切圆的圆心为P点，半径为R；则O点与P点同轴；半径R与所述晶圆的半径相等；弯折结构中所述基础台面的形状满足与载片台下表面贴合；基础立面与限位立面的距离满足所述一组基础立面与载片台支撑部侧壁相切的同时，所述一组限位立面与晶圆边缘相切。