热处理炉

摘要

本实用新型提供的热处理炉，包括加热腔室、加热装置和冷却装置，其中，在加热腔室内设置有内腔管体，在内腔管体内设置有承载架，用以承载被加热件；在内腔管体的顶部设置有盖板，用以封闭内腔管体的顶部开口；冷却装置包括冷却气源和进气管路，进气管路包括第一进气端、第二进气端和出气端，第一进气端与冷却气源相连通；第二进气端设置在内腔管体的内侧壁上，与内腔管体的内部相连通；出气端朝上设置在加热腔室内，且位于内腔管体的外侧；冷却气源向进气管路提供冷却气体。本实用新型提供的热处理炉，其不仅可以提高热交换效率，减少附着在被加热件表面的污染颗粒，而且还可以提高被加热件的温度均匀性，从而可以减少被加热件的形变量差异。

主权项

一种热处理炉，包括加热腔室、加热装置和冷却装置，其中，在所述加热腔室内设置有内腔管体，在所述内腔管体内设置有承载架，用以承载被加热件；并且，在所述加热腔室的顶部设置有排气口；所述加热装置设置在所述加热腔室内，且环绕在所述内腔管体的外围，用以朝向所述被加热件辐射热量；其特征在于，在所述内腔管体的顶部设置有盖板，用以封闭所述内腔管体的顶部开口；所述冷却装置包括冷却气源和进气管路，其中，所述进气管路包括第一进气端、第二进气端和出气端，其中，所述第一进气端与所述冷却气源相连通；所述第二进气端设置在所述内腔管体的内侧壁上，与所述内腔管体的内部相连通；所述出气端朝上设置在所述加热腔室内，且位于所述内腔管体的外侧；所述冷却气源用于向所述进气管路提供冷却气体。