薄膜转印系统

摘要

本发明提供薄膜转印系统，更具体地提供一种在进行转印工艺的过程中，防止因扭转转印板的准确度而发生降低转印品质的现象，并改善结构以使能够进行快速的工艺的结构的薄膜转印系统。该本发明的薄膜转印系统包括：多个转印板，其上面具有放置基板的安装凹槽；第一作业台及第二作业台，在上面可装卸地接合所述转印板；第一夹持装置，设置于所述第一作业台，当所述转印板被放置于第一作业台的上面时，与转印板接合而将转印板固定于第一作业台；第二夹持装置，设置于所述第二作业台，当所述转印板被放置于第二作业台的上面时，与转印板接合而将转印板固定于第二作业台；及机械臂，设置于所述第一作业台及第二作业台之间，将位于第一作业台的上面的转印板移送至第二作业台的上面，或将位于所述第二作业台的上面的转印板再退回至第一作业台的上面。

主权项

一种薄膜转印系统，其特征在于，包括：多个转印板，上面具有放置基板的安装凹槽；第一作业台及第二作业台，在上面可装卸地接合所述转印板；第一夹持装置，设置于所述第一作业台，当所述转印板被放置于第一作业台的上面时，与转印板接合而将转印板固定于第一作业台；第二夹持装置，设置于所述第二作业台，当所述转印板放置于第二作业台的上面时，与转印板接合而将转印板固定于第二作业台；及机械臂，设置于所述第一作业台及第二作业台之间，将位于第一作业台的上面的转印板移送至第二作业台的上面，或将位于所述第二作业台的上面的转印板再退回至第一作业台的上面。