| 发明名称 | 平板显示器用配线膜 | ||
| 摘要 | 本发明的平板显示器用配线膜，由如下第一层和第二层层叠而成的层叠结构构成：第一层，其含有从Mo、Ti、Cr、W和Ta所构成的群中选择的至少一种以上的高熔点金属；第二层，其由含有0.01原子％以上且低于0.2原子％的稀土类元素、Ni和Co之中至少一种以上的Al合金构成。该配线膜即使经受400℃以上且500℃以下的高温的热过程，仍可抑制配线电阻的上升，也不会发生小丘等，耐热性优异。 | ||
| 申请公布号 | CN105900216A | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201580004042.5 | 申请日期 | 2015.01.21 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 后藤裕史;岩成裕美 |
| 分类号 | H01L21/28(2006.01)I;C22C21/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01L21/285(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L23/532(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张玉玲 |
| 主权项 | 一种平板显示器用的配线膜，其特征在于，是形成于基板上的平板显示器用的配线膜，所述配线膜由如下第一层和第二层层叠而成的层叠结构构成：第一层，其含有从Mo、Ti、Cr、W和Ta所构成的群中选择的至少一种以上的高熔点金属；第二层，其由含有0.01原子％以上且低于0.2原子％的稀土类元素、Ni和Co之中的至少一种以上的Al合金构成。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||