发明名称 凹槽型表面声滤波芯片封装结构及其制造方法
摘要 本发明涉及一种凹槽型表面声滤波芯片封装结构及其制造方法,所述结构包括表面声滤波芯片晶圆(1),所述表面声滤波芯片晶圆(1)表面包括电极区域(1.1)和感应区域(1.2),所述电极区域(1.1)表面设置有第一金属层(2),所述表面声滤波芯片晶圆(1)上方设置有贴合晶圆(4),所述贴合晶圆(4)与感应区域(1.2)之间形成空腔(7),所述贴合晶圆(4)在电极区域(1.1)位置处设置有开孔(8),所述开孔(8)内设置有金属球(6),所述金属球(6)与第一金属层(2)相接触。本发明一种凹槽型表面声滤波芯片封装结构及其制造方法,它能提供一种更小面积和体积的表面声滤波器件,并且具有更低的制造成本。
申请公布号 CN105897210A 申请公布日期 2016.08.24
申请号 CN201610204675.7 申请日期 2016.04.01
申请人 江苏长电科技股份有限公司 发明人 梁新夫;张江华
分类号 H03H3/02(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I;H03H9/10(2006.01)I 主分类号 H03H3/02(2006.01)I
代理机构 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 代理人 周彩钧
主权项 一种凹槽型表面声滤波芯片封装结构,其特征在于:它包括表面声滤波芯片晶圆(1),所述表面声滤波芯片晶圆(1)表面包括电极区域(1.1)和感应区域(1.2),所述电极区域(1.1)表面设置有第一金属层(2),所述表面声滤波芯片晶圆(1)除电极区域(1.1)和感应区域(1.2)外的区域设置有粘合胶(3),所述粘合胶(3)上方设置有贴合晶圆(4),所述贴合晶圆(4)与感应区域(1.2)之间形成空腔(7),所述贴合晶圆(4)在电极区域(1.1)位置处设置有开孔(8),所述开孔(8)内设置有金属球(6),所述金属球(6)与第一金属层(2)相接触。
地址 214434 江苏省无锡市江阴市澄江镇长山路78号