狭缝喷嘴

摘要

本发明涉及狭缝喷嘴，具体而言，一种用于分配液体到晶片的表面上的狭缝喷嘴包括具有排放开口的喷嘴本体，该排放开口的长度为10毫米至100毫米，宽度为0.5毫米至5毫米。该喷嘴本体具有位于所述排放开口的上游并延伸到所述排放开口的分配室，以及位于所述分配室上游的液体分布室。该分配室和液体分布室是相互流体连通并且通过所述喷嘴本体的收缩部隔开，该收缩部的横截面面积比所述排放开口和所述液体分布室中的每一个的横截面面积小至少20％。

主权项

一种用于分配液体到晶片的表面上的狭缝喷嘴，其包括：具有排放开口的喷嘴本体，所述排放开口的长度为10至100毫米，宽度为0.5至5毫米；位于所述排放开口的上游且延伸到所述排放开口的分配室；以及位于所述分配室的上游的液体分布室，其中所述分配室和所述液体分布室是相互流体连通的并由所述喷嘴本体的收缩部隔开，该收缩部的横截面面积比所述排放开口和所述液体分布室中的每一个的横截面面积小至少20％。