发明名称 一种二极管加工用钝化液
摘要 本发明是一种二极管加工用钝化液,钝化液包含有磷酸,双氧水和纯水,磷酸,双氧水和纯水的体积比为1:1:3,在磷酸、双氧水和纯水的混合液中再添加少量的硫酸,磷酸、双氧水和纯水的混合液与硫酸的体积比为98:2,磷酸的浓度为85%,双氧水的浓度为30‑35%,硫酸的浓度为98%。本发明按照一定的体积比将磷酸、双氧水和纯水混合后在添加硫酸,少量的硫酸减少反应的生成物,没有杂质,较以往的钝化处理液成本低,抗腐蚀能力强。本发明的处理液配方简单,成本低,使工件防腐性能提高的同时其他性能依然不变,延长了工件的使用寿命。
申请公布号 CN104233245B 申请公布日期 2016.08.24
申请号 CN201310251723.4 申请日期 2013.06.24
申请人 安徽中鑫半导体有限公司 发明人 郑欣
分类号 C23C22/07(2006.01)I 主分类号 C23C22/07(2006.01)I
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人 郭俊玲
主权项 一种二极管加工用钝化液,所述钝化液包含有磷酸,双氧水和纯水,其特征在于:所述磷酸,双氧水和纯水的体积比为1:1:3,在所述磷酸、双氧水和纯水的混合液中再添加少量的硫酸,所述磷酸、双氧水和纯水的混合液与所述硫酸的体积比为98:2,所述磷酸的浓度为85%,所述双氧水的浓度为30‑35%,所述硫酸的浓度为98%。
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