发明名称 固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备
摘要 本发明涉及一种固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备,可以提供诸如光学混色减少等特性改善的固态成像装置。此外,提供了使用所述固态成像装置的电子设备。在具有基板(12)和在基板(12)上形成的多个光电转换部(40)的固态成像装置中,形成有绝缘膜(21)埋入其中的元件隔离部(19)。元件隔离部(19)由具有固定电荷的绝缘膜(20)构成,所述绝缘膜形成为包覆沟部(30)的内壁面,所述沟部(30)从基板(12)的光入射侧在深度方向上形成。
申请公布号 CN103403869B 申请公布日期 2016.08.24
申请号 CN201280009331.0 申请日期 2012.02.23
申请人 索尼公司 发明人 柳田刚志;押山到;榎本贵幸;池田晴美;伊泽慎一郎;山本敦彦;太田和伸
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H04N5/359(2006.01)I;H04N5/374(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人 梁兴龙;陈桂香
主权项 一种固态成像装置,包括:基板;在所述基板上形成的多个光电转换部;从所述基板的光入射侧在深度方向上形成的沟部;和具有膜且具有中空结构的元件隔离部,所述膜设置成包覆所述沟部的内壁面。
地址 日本东京