摘要 |
재료를 레이저 드릴링, 천공 형성, 컷팅, 분리 또는 그렇지 않으면 처리하는 방법은 펄스형 레이저 빔을 레이저 빔 초점 라인에 초점화하는 단계, 및 레이저 빔 초점 라인을, 스택을 포함한 가공물에 지향시키는 단계를 포함하며, 상기 스택은: 레이저 빔을 향한 제 1 층 (제 1 층은 레이저 처리될 재료임), 캐리어 층을 포함한 제 2 층, 및 제 1 층과 제 2 층 사이에 위치된 레이저 빔 붕괴 요소를 적어도 포함하고, 레이저 빔 초점 라인은 제 1 층의 재료 내에 유도 흡수를 발생시키고, 유도 흡수는 제 1 층의 재료 내에서 레이저 빔 초점 라인을 따라 결함 라인을 만들어 낸다. 빔 붕괴 요소는 빔 붕괴 층 또는 빔 붕괴 계면일 수 있다. |