| 发明名称 | 硅片承载器卡具 | ||
| 摘要 | 一种硅片承载器卡具，其整体上为U型框架，在U型框架的两个相对的上端内侧，具有矩形凹陷；在U型框架的两个相对的底端具有向U型开口反向延伸的矩形凸起。 | ||
| 申请公布号 | CN103346115B | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201310167815.4 | 申请日期 | 2013.05.09 |
| 申请人 | 北京市塑料研究所 | 发明人 | 王旭;刘哲伟;孙卫东;李佳 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种硅片承载器卡具，其整体上为U型框架，在U型框架的两个相对的上端内侧，具有矩形凹陷；在U型框架的两个相对的底端具有向U型开口反向延伸的矩形凸起。 | ||
| 地址 | 100009 北京市西城区旧鼓楼大街47号 | ||