一种测试材料释气率的装置及方法

摘要

本发明提供了一种测试材料释气率的装置，包括：真空室，所述真空室包括第一真空室和第二真空室，所述第一真空室和第二真空室由一个带有小孔的隔板隔开，所述第二真空室用于放置测试材料，所述第二真空室内设有一辐射灯；与所述真空室连接的泵组；与所述真空室连接测量系统；充入所述第二真空室中的气源。本发明通过测量系统测量所述第一真空室和第二真空室的气体压力，不仅可以得出测试材料释放的所有气体组分的总释气率，而且可以得出测试材料释放的某一气体组分的释气率。

主权项

一种测试材料释气率的装置，其特征在于，包括：真空室，所述真空室包括第一真空室和第二真空室，所述第一真空室和第二真空室由一个带有小孔的隔板隔开，所述第二真空室用于放置测试材料，所述第二真空室内设有一辐射灯，用于对测试材料进行加热控温；泵组，与真空室连接，用于为真空室提供一个真空的环境；测量系统，与真空室连接，用于测量所述第一真空室和第二真空室的气体压力；气源，提供气体充入第二真空室中，用于在测试结束时，破坏真空，并且保护真空室内壁免受污染物吸附；所述测量系统包括：离子规和质谱计，所述离子规通过第三角阀与所述第一真空室连接；所述离子规通过第四角阀与所述第二真空室连接；所述质谱计通过第五角阀与所述第一真空室连接；所述质谱计通过第六角阀与所述第二真空室连接；所述离子规用于在所述测试材料放置于所述第二真空室时，测量所述第一真空室内所有气体组分的第一全压和第二真空室内所有气体组分的第二全压，以及在所述测试材料从所述第二真空室移除后，测量第一真空室内所有气体组分的第三全压和第二真空室内所有气体组分的第四全压；所述质谱计用于在所述测试材料放置于所述第二真空室时，测量所述第一真空室内某一气体组分的第一分压和第二真空室内某一气体组分的第二分压，以及所述测试材料从所述第二真空室移除后，测量所述第一真空室内某一气体组分的第三分压和第二真空室内某一气体组分的第四分压。