溅射靶及其制造方法

摘要

本发明提供一种含有高浓度的Na并且可以抑制变色、斑点的产生和异常放电，进而具有高强度而不易破裂的溅射靶及其制造方法。本发明的溅射靶具有如下成分组成：作为溅射靶的除F、S、Se以外的金属成分，含有Ga：10～40at％、Na：1.0～15at％，剩余部分由Cu及不可避免杂质构成，以由氟化钠、硫化钠及硒化钠中的至少一种构成的Na化合物的状态含有Na，理论密度比为90％以上，抗折强度为100N/mm²以上，体积电阻率为1mΩ·cm以下，在靶表面的1cm²面积内，0.05mm²以上的氟化钠、硫化钠及硒化钠中的至少一种的凝集体平均存在一个以下。

主权项

一种溅射靶，其特征在于，具有如下成分组成：作为溅射靶的除F、S、Se以外的金属成分，含有Ga：10～40at％、Na：1.0～15at％，剩余部分由Cu及不可避免杂质构成，以由氟化钠构成的Na化合物的状态含有Na，理论密度比为90％以上，抗折强度为100N/mm²以上，体积电阻率为1mΩ·cm以下，含氧量为200～2000ppm，在靶表面的1cm²面积内，0.05mm²以上的Na化合物的凝集体平均存在一个以下。