用于光刻设备的预对准装置的预对准方法

摘要

本发明公开一种用于光刻设备的预对准装置，包括：定心单元，用于承载硅片进行直线运动，以补偿硅片偏心；定向单元，用于旋转所述硅片和确定硅片的缺口位置；图像采集单元，用于采集所述硅片的边缘及缺口信息；数据处理单元，用于处理所述采集信息和滤除所述采集信息中的干扰信息。本发明同时公开了一种用于光刻设备的预对准方法。

主权项

一种用于光刻设备的预对准装置的预对准方法，所述预对准装置包括：定心单元，用于承载硅片进行直线运动，以补偿硅片偏心；定向单元，用于旋转所述硅片和确定硅片的缺口位置；图像采集单元，用于采集所述硅片的边缘及缺口信息；数据处理单元，用于处理所述采集信息和滤除所述采集信息中的干扰信息；其特征在于，所述预对准方法包括：步骤一、旋转硅片并采集所述硅片的边缘图像数据；步骤二、对所述边缘图像数据进行滤波处理后计算所述硅片的形心，根据计算结果移动所述硅片以补偿定心偏差；步骤三、再次旋转硅片并采集所述硅片的边缘图像数据，根据所述边缘图像数据确定是否满足定心设计要求，如果满足进入步骤四，如果不满足返回步骤一；步骤四、根据所述边缘图像数据粗查找所述硅片的缺口位置，在所述缺口位置范围内，获取该缺口位置图像数据；步骤五、对所述缺口位置图像数据进行滤波处理后，根据处理结果旋转所述硅片以补偿定向偏差。