菱形铰链斜拉式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法

摘要

一种菱形铰链斜拉式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力调控困难所导致的机械输出性能受限等问题。本发明由预紧力调节装置、斜拉式定子和动子组成；所述斜拉式定子利用斜拉式菱形运动转换器来产生侧向位移，增大摩擦驱动力，减小摩擦阻力；同时将摩擦调控波复合叠加于斜拉式定子快速变形阶段的锯齿驱动波中，从而降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，提升压电粘滑直线马达机械输出特性。本发明具有结构简单、精度高、行程大等特点，在半导体加工、光学调焦等具有结构微型化、要求精确定位的领域中具有很好的应用前景。

主权项

一种菱形铰链斜拉式正交驱动型压电粘滑直线马达，其特征在于所述斜拉式菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达由预紧力调节装置（1）、斜拉式定子（2）和动子（3）组成；斜拉式定子（2）安装在预紧力调节装置（1）上，动子（3）安装在预紧力调节装置（1）上。